Fluorpolymere - Lösungen für ultrareine Anwendungen

Edlon® Fluoropolymer Technologies ist eine Marke der Pfaudler-Gruppe, welche seit mehr als 50 Jahren im Bereich der zu verarbeitetenden Fluorpolymere führend ist und Lösungen anbietet, die der Branche Geld und Zeit sparen und die Anwendung sicher machen.  

Edlon® Fluoropolymer Technologies bietet Spitzenlösungen für Korrosionsschutz gegen in der Branche bekannte hoch aggressive Chemikalien sowie Lösungen für ultrareines Flüssigkeitsmanagement für Anwendungen, die nur ultrareine Reinheitsgrade (ppt) aufweisen dürfen, an.   

Einer der Bereiche, in dem Edlon® technologies den Industriestandard definiert, ist der Bereich des ultrareinen Flüssigkeitsmanagements.  Zum Beispiel in der Halbleitererzeugung und im Bereich der Optoelektronik führen die zunehmende Komplexität von gefertigten elektronischen Geräten sowie die steigende Nachfrage an reduzierter Bauelementedimensionen  und Defektdichte zur Nachfrage nach peinlichst genauer Kontrolle der Reinheit aller in jedem Produktionsschritt involvierten Chemikalien. In der Folge strebt der Markt nach strikteren Reinheitsanforderungen und mehr Forschung, um Wege für ultrareine Chemikalien zu finden und  verlangt strenge Kontrollen der bei der Produktion angewandten Methoden und verwendeten Ausrüstung sowie bei Transport und Lagerung.

Edlon® Pure-FusionTM Auskleidungen für Kolonnen  und Lagertanks, welche bei der Herstellung von ultrareinen Säuren verwendet werden.

Ultrareine Mineralsäuren und -basen bilden den Kern bei nassen Halbleiter-Herstellungsprozessen. 

Während die Herstellung solcher Chemikalien nach gewissen bewährten Prozessen erfolgt, erfordert die Nachfrage nach Ultrareinheit sorgfältige Kontrollen des gewählten Materials für Auskleidung und Beschichtung, um Ausrüstung wie Distillationskolonnen, Kondensatoren und Wärmetauscher sowie Lagertanks zu schützen, und macht dieses Anliegen zum zentralen Punkt für eine erfolgreiche Anwendung. Die Herstellung derartiger Backbone-Chemikalien mit (Teil pro Trillion) ppt-Reinheitsgraden bedeutet, dass Materialien aus Fluorkunststoff die richtige Wahl zum Bau sind. 

Was Edlon® Fluoropolymer Auskleidungen und Beschichtungen für Säulen und Ausrüstung unterscheidet, ist die Tatsache, dass das Auskleidungsmaterial nicht nur aus ultrareinem Granulat hergestellt wird, sondern dass die geschützte Eldon® Herstellungsprozesse Auskleidungen garantieren, welche ihre Funktionalität und Tauglichkeit für Ultrareinheit garantieren. 

Von besonderer Bedeutung hier sind die Art und Qualität der Schweißnähte, die bei der Herstellung nahtloser Auskleidungen verwendet werden müssen. Die geschützte Edlon® Pure-FusionTM Schweißtechnik wurde entwickelt, um alle bekannten Probleme der Hand- und Luftschweißung bei verklebten und losen Auskleidungen auszuschalten. Durch die Verwendung von unpigmentiertem Fluorkunststoff werden Pure-FusionTM Auskleidungen maschinell in einer Reinraumumgebung  hergestellt, was in Pure-FusionTM hochpräzisen und reproduzierbaren Nähte, hochwertiger Oberflächenverarbeitung und der Festigkeit des Großteils der Auskleidungen aus Fluorkunststoffen resultiert.

Abbildung 1: zeigt eine große Anzahl von Lagertanks aus Edelstahl, die mit der Edlon® PTFM nahtlosen Auskleidung mit Pure-FusionTM Schweißtechnik verkleidet sind. Pfaudler entwirft, produziert und verkleidet alle Lagertanks zum Gebrauch bei ultrareinen Anwendungen.

Edlon® PFA Perfluorpolymer Engineered Beschichtungen wurden als Standard zum Gebrauch mit fotoresistentem und ätzendem Flüssigkeitsmanagement eingeführt. 

Chemikalien, die zur Herstellung elektronischer Geräte wie Reinigungs- und Veredelungsmittel für Wafers, verschiedene lithographische Musterprozesse sowie Chemikalien, die für gedruckte Elektronik verwendet werden, müssen mit ppt-Reinheitsgraden hergestellt werden.  

Um dieses hohe Niveau von Ultrareinheit zu halten, wird die Ausrüstung mit Beschichtung und Auskleidung aus Fluorkunststoff verwendet, um solche Flüssigkeiten zu lagern und auszuhalten, da sie deutlich den Grad der in den Chemikalien von der Oberfläche des Behälters ausgelaugten Metallkationen reduzieren. Spurenelemente können wesentlich die Leistungsfähigkeit des Materials beeinflussen. Erhöhte Mengen von Metallkationen beispielsweise, die die Chemikalien verunreinigen, kann zu Folgen wie katalytische Zersetzung gewisser empfindlicher organischer Verbindungen  führen. 

Um diesen Anforderungen zu entsprechen, hat Edlon® speziell die einzigartige PFA Perfluorpolymer für das elektrostatische Beschichtungsverfahren entwickelt, welches bei den führenden Herstellern fotoresistenter und ätzender Produkte gefragt ist. Sowohl vor Ort als auch in unabhängigen Labors jahrelang durchgeführte Tests bewiesen, dass das PFA SC-7005TM Beschichtungsverfahren durch seine Fähigkeit, ppt-Konzentrationen von Metallkationen auf Lebenszeit der Beschichtung konstant zu halten, jetzt das meist gewählte Material für Reaktoren und Tanks in der Herstellung und Lagerung von ultrareinen Chemikalien ist. 

Abbildung 2:  Gesamtkonzentration von Metallkationen in ultrareinem Wasser in einem  Edlon® PFA SC-7005TM beschichteten Tank mit angezeigten ppt-Reinheitsgraden.

Zusätzlich zu diesen Produkten entwirft und produziert Edlon® eine Reihe von kundenspezifischen Produkten aus Fluorkunststoff wie Gasverteiler, Tauchrohre und maßgefertigte Kolonneneinbauten. 

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